電科裝備董事長左雷：聚焦光伏尖端科技，服務國家雙碳戰略

文丨本報記者 董梓童

左雷：為實現碳達峰、碳中和的目標，市場對高端光伏產品的需求會越來越大，低效的產能和落后的技術將逐漸被更新替換，市場對高端裝備的需求量會有所保證，在這種背景下，光伏裝備企業可能會得到更多的發展資源，例如說資本市場的青睞，這些資源的涌入會更加帶動核心技術的發展和設備生產效率的提高。

電科裝備作為電子制造裝備的國家隊，我們將進一步發揮在半導體制造裝備領域的技術優勢，持續聚焦光伏高端裝備，展現國有企業敢于擔當、勇于創新的精神，將制約行業發展的硬骨頭啃下來，不斷提高電池效率、提高生產效率、降低生產成本，進一步提升產業化現代化水平。

左雷：在碳達峰、碳中和目標下，光伏裝備的努力方向必然會圍繞“更高效率、更低成本”來開展。

從“更高效率”來說，光伏裝備要著眼下一代高效電池裝備，提供成熟可靠的解決方案，從技術上提高電池的效率。同時，裝備的發展還要緊跟電池的制備工藝，要以客戶和工藝路線的需要為準繩，電科裝備一直以“裝備+工藝+服務”為發展思路，確保推出的產品是市場需要的，是客戶認可的。

從“更低成本”來說的話，一是要降低裝備的采購成本，二是要降低裝備的使用成本。裝備采購的成本是一個產業協同的話題，它直接和元器件及配套耗材成本掛鉤，目前很多關鍵元器件依賴進口，需要裝備企業在國內培養出一批光伏裝備核心供應鏈的產品和品牌，打通光伏產品國內大循環。

此外，碳達峰、碳中和目標需要全產業鏈的努力，政策的引導以及國家層面的監管。為了整個產業的健康發展，國家層面上的宏觀調控必不可少。

左雷：現階段，電科裝備在鞏固和提升PERC電池裝備技術水平的同時，還集中力量在突破TOPCon和異質結（HJT）電池關鍵裝備技術，促進下一代高效晶硅光伏電池的發展。為此，在光伏裝備新品開發方面，電科裝備有兩個著力點：

一是不斷優化改進目前現有PERC電池的設備，推出產能和效率更高的管式PECVD及背鈍化、氧化退火及擴散爐等設備。同時，集中力量，結合自身優勢，建立TOPCon高效電池實驗線，平板式PEALD&PECVD設備等全部是自己研發，核心工藝技術已經取得了重大突破。

二是瞄準前沿，積極研發HJT高效電池裝備。目前，公司已成功研發國內首款超大產能HJT專用PVD（物理氣相沉積）設備，突破了大跨度直流脈沖控制系統等關鍵技術，助推我國光伏技術進步及成本快速下降。

這些產品可以從三個角度助力碳達峰、碳中和目標的達成：

一是設備的產能和效率提高了，能耗比降低，單位產能的耗電量也能所有降低；

二是TOPCon較PERC效率會有0.8%—1%的增益，電池效率的提升會增加發電量，也會提高硅料利用率和能源利用率。同時，TOPCon電池與現有PERC的設備大部分兼容，只需要增加幾款設備就能夠完成工藝升級，更具經濟性；

三是異質結電池技術有更高的轉換效率和雙面性、提效潛力高、降本空間大、工藝流程短等優勢，是光伏行業未來的優選方案。裝備是光伏產業發展的基石，設備的創新與升級將助推光伏技術的革新，提升全行業競爭力。

左雷：光伏設備是光伏行業發展的核心環節，光伏裝備國產化為助力我國光伏規?；l展、提升我國光伏行業全球競爭力起到了關鍵作用。我國光伏裝備水平在日新月異的發展進步。經過多年的發展，目前我國已經基本實現了光伏裝備的國產化。

電科裝備依托多年以來在集成電路裝備領域的深厚積淀，近二十年以來一直專注于光伏產業高端核心裝備的研發，先后推出國內首臺等離子體刻蝕機等設備。在硅片大尺寸化，新型TOPCon、HJT等高效電池以及光伏智能制造發展趨勢的背景下，推出了兼容M10、M12硅片的CVD、擴散氧化類設備，推出了應用于TOPCon電池的LPCVD、硼擴散、平板PECVD設備，以及應用于HJT電池的平板PECVD、平板PVD設備，形成了“裝備+工藝+服務”的核心優勢，亮出全球光伏整線高端裝備領域的“中國名片”。